科耐激光完成新一轮融资

科耐激光业务聚焦于超快紫外和深紫外激光器（波长：355nm/266nm/213nm/193nm）的研发和生产，为半导体晶圆缺陷检测（颗粒度检测、明暗场检测等）或掩膜版检测设备提供深紫外光源。近日，科耐激光完成新一轮融资。本轮融资由中芯聚源领投，十月资本、海汇资本、江夏科投、尚玉智投、力中投资等机构跟投。